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      EN /

      工程服务

      FPD-TFT液晶面板

      TFT-LCD液晶面板制造业中,陛通科技主要为美国应用材料,日本爱发科公司等设备供应商和京东方、中航光电、龙腾光电、厦门天马等设备终端用户提供PECVD/ ILD/ EBT/PVD设备安装项目工程服务和工程师技术支持服务。

       

      服务能力及范围
      设备安装(全部在洁净室环境下作业)
      以美国应用材料公司生产的大型AKT设备为主的Tier 0 预安装阶段的解决方案

      设备各个模块的精密光学仪器水平找正定位和组装定位 ;

      电源柜与设备模块之间的电缆连接和电缆桥架组装;

      设备各个模块之间的信号线和控制线连接;

      设备各个模块之间的厂务水管、去离子水管、压缩空气管道、真空管道安装连接及管道的氦测漏等。

       

      Tier 1硬件调试阶段的解决方案

      设备各个模块的开启,功能测试,参数校准和问题诊断;

      设备传送腔室和其他腔室的泄漏检测,传送位置校准,反应气体引入和传片测试等。


      Tier 23工艺制程调试阶段的硬件技术支持 

      设备在进行工艺调试过程中及时解决设备硬件出现的问题以及完成设备模块需要校准和调节的工作;

      为设备的工艺调试过程提供硬件方面的技术人员支持和人力支持,直到设备通过设备商客户的验收为止。

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